耐潮性试验是把器件置于高温、高湿的环境中受试，使潮气侵人封装体，以产生如分层和开裂那样的缺陷。这种试验可识别器件对潮气引起的应力的敏感度，以便使器件能适当地封装、贮存和搬运，以避免机械损伤。高压锅、85C/85%RH和HAST试验就是耐潮湿试验。高加速应力与温度(HAST)试验正在快速地取代85/85试验。DHAST试验按JESD22-A110问进行，条件通常为130C，85%RH,250h。

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